トシナワ　タクミ   年縄　巧    所属   建築学部 建築学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004/11
形態種別	学術雑誌
標題	Stress Estimation of Patterned Films using a High-energy Electron Beam
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Vac. Sci. Technol.
巻・号・頁	(B22, No.6)
著者・共著者	F. Mizuno
概要	高加速SEMを用いた薄膜の応力測定法について論じた。