スガ タダトモ
須賀 唯知 所属 附属教育研究機関 連携研究センター 職種 客員教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2019/02 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Comparison of argon and oxygen plasma treatments for ambient room-temperature wafer-scale Au-Au bonding using ultrathin Au films |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Micromachines |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | 10(2),pp.119 |
著者・共著者 | Michitaka Yamamoto, Takashi Matsumae, Yuichi Kurashima, Hideki Takagi, Tadatomo Suga, Toshihiro Itoh, Eiji Higurashi |
DOI | 10.3390/mi10020119 |