アカサカ テツヤ
赤坂 哲也 所属 理工学部 総合理工学科 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1993/04 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | In situ ellipsometric observation of the growth of crystalline silicon from fluorinated precursors |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Material Research Society symposium proceedings |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | Material Research Society |
巻・号・頁 | 297,pp.19-24 |
総ページ数 | 6 |
担当区分 | 筆頭著者 |
著者・共著者 | ◎T. Akasaka, Y. Araki, and I. Shimizu |