アカサカ テツヤ
赤坂 哲也 所属 理工学部 総合理工学科 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1994/12 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Fabrication of high quality polysilicon thin films on glass and its in situ real-time monitoring by spectroscopic ellipsometry |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 1994 IEEE First World Conference on Photovoltaic Energy Conversion |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | Institute of Electrical and Electronics Engineers |
巻・号・頁 | 2,pp.1402-1405 |
総ページ数 | 4 |
担当区分 | 筆頭著者 |
著者・共著者 | ◎T. Akasaka, Y. Tanaka and I. Shimizu |