アカサカ テツヤ
赤坂 哲也 所属 理工学部 総合理工学科 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1996/09 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Fabrication of polycrystalline silicon on glass from fluorinated precursors with the aid of atomic hydrogen |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Material Research Society symposium proceedings |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | Materials Research Society |
巻・号・頁 | 403,pp.391-396 |
総ページ数 | 6 |
担当区分 | 筆頭著者 |
著者・共著者 | ◎T. Akasaka, D. He, and I. Shimizu |
概要 | フッ素系シリコン成長前駆体SiFnHm (m+n≦3)を用いたプラズマ励起化学的気相成長法において、シリコン種結晶を形成する工程に引き続き、その種結晶の結晶成長を促進する工程を行う2段階成長によって、ガラス基板上に高品質な多結晶シリコン薄膜を形成した。シリコン薄膜成長過程を分光エリプソメトリによりその場観察し、成長機構を検討した。多結晶シリコン薄膜でショットキーバリアダイオード型太陽電池を作製し、特性評価も行った。 |