アカサカ テツヤ
赤坂 哲也 所属 理工学部 総合理工学科 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1998/10 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Thermal stability of low-temperature GaN and AlN buffer layers during metalorganic vapor phase epitaxy monitored by in situ shallow-angle reflectance using ultraviolet light |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics Part2 |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | The Japan Society of Applied Physics |
巻・号・頁 | 37(10B),pp.L1208-L1210 |
総ページ数 | 3 |
著者・共著者 | Y. Kobayashi, T. Akasaka, and N. Kobayashi |