アカサカ テツヤ
赤坂 哲也
所属
理工学部 総合理工学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1996/03
形態種別
学位取得論文
査読
査読あり
標題
多結晶シリコンの低温成長過程の分光エリプソメトリによるその場観察
執筆形態
単著
掲載区分
国内
担当区分
筆頭著者,責任著者
著者・共著者
◎
赤坂哲也