|
サトウ ヒロシ
佐藤 浩志 所属 情報学部 情報学科 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2011/11 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | レーザ干渉計を搭載した高精度表面粗さ測定機の開発 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 精密工学会誌 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 70(11),1070-1075頁 |
| 担当範囲 | 性能評価に関するデータ解析を担当 |
| 著者・共著者 | 直井 一也、青戸 智浩、佐藤 浩志 |
| 概要 | 表面性状パラメータの校正の不確かさ低減を目指し開発した、レーザ干渉計を搭載した校正装置の性能評価に関する論文 |