フルカワ　カズアキ   FURUKAWA Kazuaki   古川　一暁    所属   理工学部 総合理工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2015
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Effects of UV light intensity on electrochemical wet etching of SiC for the fabrication of suspended graphene
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国内
出版社・発行元	Japanese Society of Applied Physics
巻・号・頁	54,pp.036502
著者・共著者	Ryong-Sok O, Makoto Takamura, Kazuaki Furukawa, Masao Nagase, Hiroki Hibino