アカサカ　テツヤ   赤坂　哲也    所属   理工学部 総合理工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1993/06
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	In Situ Ellipsometric Observations of the Growth of Silicon Thin Films from Fluorinated Precursors, SiFnHm (n+m≤3)
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics Part1
掲載区分	国内
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	32(6A),pp.2607-2612
総ページ数	6
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	◎T. Akasaka, Y. Araki, M. Nakata, and I. Shimizu