アカサカ　テツヤ   赤坂　哲也    所属   理工学部 総合理工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994/12
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Fabrication of high quality polysilicon thin films on glass and its in situ real-time monitoring by spectroscopic ellipsometry
執筆形態	共著
掲載誌名	1994 IEEE First World Conference on Photovoltaic Energy Conversion
掲載区分	国外
出版社・発行元	Institute of Electrical and Electronics Engineers
巻・号・頁	2,pp.1402-1405
総ページ数	4
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	◎T. Akasaka, Y. Tanaka and I. Shimizu