アカサカ　テツヤ   赤坂　哲也    所属   理工学部 総合理工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Thermal stability of low-temperature GaN and AlN buffer layers during metalorganic vapor phase epitaxy monitored by in situ shallow-angle reflectance using ultraviolet light
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics Part2
掲載区分	国外
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	37(10B),pp.L1208-L1210
総ページ数	3
著者・共著者	Y. Kobayashi, T. Akasaka, and N. Kobayashi