サトウ　ヒロシ   佐藤　浩志    所属   情報学部 情報学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2002/11
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価
執筆形態	共著
掲載誌名	精密工学会誌, Vol. 68-11, pp.1447-1450
掲載区分	国内
巻・号・頁	68(11),1447-1450頁
総ページ数	4
担当範囲	不確かさ評価におけるデータ解析を担当
著者・共著者	直井 一也、佐藤 浩志、黒澤 富蔵
概要	触針式表面粗さ測定機の校正方法と開発および、不確かさの評価の関する報告。